等離子體是物質(zhì)存在的第四態(tài)，比氣態(tài)能量更高,等離子體是良導(dǎo)體，受磁場影響。
微波是等離子體產(chǎn)生的方法之一，微波等離子體無電極、大體積、運(yùn)行氣壓寬、低能耗、高效率和低成本等優(yōu)點，其等離子體發(fā)生室和處理室可分合，工藝靈活。微波等離子體具有其他等離子體難以比擬的優(yōu)勢和特點。
等離子體比其他工藝有更高的溫度和能量密度,能夠產(chǎn)生活性成分，引發(fā)常規(guī)條件下不能或難以實現(xiàn)的物理和化學(xué)反應(yīng)。
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等離子體是物質(zhì)存在的第四態(tài)，比氣態(tài)能量更高，等離子體是良導(dǎo)體，受磁場影響.微波是等離子體產(chǎn)生的方法之一，微波等離子體無電極,大體積,運(yùn)行氣壓寬,低能耗,高效率和低成本等優(yōu)點.
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